高科技產業代表著業者使用高科技製程,而使產品能達到「高精密度、高產量、高產率」 的要求。但是,這並非代表它對環境的衝擊會隨著高科技的運用而降低。相反地,一些諸如光電和半導體之類的高科技產業所浮現出來的特質,卻是「高耗能、高污染、高投資」等問題;不僅對能源(例如水、電)或資源(例如稀土元素、化學品)的依存度太大,而且產品的生命週期過短。
就國內的半導體產業而言,須消耗大量超純水的晶圓製造及封裝產業已達到整體半導體產值的80%左右。由於製程洗滌的洗淨效果對半導體產品的良率影響相當大,未來隨著製程技術進步,晶圓線寬不斷縮小,元件集積度不斷提昇的趨勢下,晶圓製造及封裝產業對製程洗滌超純水水質潔淨度之要求也將日趨嚴格,且洗淨時間會耗時更長。至於光電面板的製造,則朝向大尺寸的方向發展。因此,不論是水資源、能源或化學品的使用量,也是逐年增加。在水資源不易取得的現實環境下,業者所產生出來的廢水,已被視為須優先進行高比例的用水回收及再利用的對象。如此,才能降低供水端的壓力。而如何製備符合用水需求的純水或超純水,對光電和半導體產業而言,亦是相當重要的一環。
由於光電和半導體等高科技產業無可避免地必須使用到許多各式化學品和氣體於生產製造過程中,這些氣體物質都具有相當程度的危害性,因此在規畫、設計、運輸、儲存和使用等不同階段,都必須對這些氣體的特性有所瞭解。如何做好人員的教育訓練,完善化學品和氣體的管理系統,建置足夠的防護設施和監測系統,並預先針對可能的危害進行風險評估,以達到風險控管的目地,已是相關業者所需面對的嚴肅課題。本次模組課程將高科技廠的氣體安全運作、化學品管理和風險評估納為課程主軸之一,並擴及環安管理系統的範疇。